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三牛機械羅茨真空泵在空間模擬方面的應用

發表時間:2019-03-04 15:03【

  由于空間模擬裝置其被抽容器的容積從幾千立方米到幾萬立方米,真空度變化從幾萬Pa 到幾個Pa,而且被抽氣體中含有大量的水蒸氣或部分氮氧化物,所以這種真空系統首先遇到問題就是預抽真空問題,如果選用傳統的滑閥泵作前級泵則存在下列問題:

  首先是滑閥泵在高入口壓力下長時間運行,由于氣流攜帶作用,其噴油現象十分嚴重,一是浪費大量昂貴的油,二是污染環境;

  由于被抽氣體中含有大量的水蒸氣或氮氧化物,這些氣體一旦進入泵內會使真空泵油迅速乳化變質,油的密封性破壞,導致真空性能下降,甚至使泵毀壞;

  需要配置泵的數量多,而且滑閥泵的振動、噪聲也大;

  真空泵由于具有清潔無油、抽速大、振動小、噪聲低等優點,已成為當前大型空間模擬真空系統產品之一。

  另外,為了提高真空機組的抽速和極限真空并相應的減小螺桿泵的尺寸,一般都是采用一臺羅茨泵與螺桿真空泵串聯構成的二級機組或二臺羅茨泵與螺桿真空泵串聯構成的三級機組。

  為防止顆粒雜質進入泵內,在真空機組入口均配置入口過濾器,其精度為50 μm。

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